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直讀光譜儀入射光路結構

發表日期:2017/02/08 瀏覽次數:

    由圖可知,入射光路除入射狹縫(25um寬)之外還有球面反射鏡。它的作用是將兩個樣品臺上激發的光譜亮度全部反射到入射狹縫。為了提高紫外光200nm以下元素的反射能力,凹面反射鏡表面需涂氟化鎂,人射狹縫和球面反射鏡裝在真空室內。在圖中,光路中具有兩個反射鏡,其中之一是在右樣品臺激發樣品時,使反射鏡進入光路,汞燈反射鏡退出光路,將激發光亮射到球面放射鏡上。然后進入入射狹縫到達凹面光柵分光Hg反射鏡是供狹縫掃描時用的,當左樣品架激發樣品時,進入曝光階段,Hg反射鏡將退出光路,使左樣品架激發光引入球面反射鏡,進入人射狹縫到達凹面光柵進行分光。


   光路中兩個反射鏡區域處于非真空狀態。對于短紫外線的元素(C、P、S、As、B、Sn等等)這是一個致命的問題。這個區域中存在氧氣、空氣、水汽將200nm以下波段的輻射吸收掉。光電直讀光譜儀無法分析這些元素的含量。氧的吸收曲線195nm的輻射都有吸收,而在140nm附近吸收最激烈。

   在兩個反射鏡的區域內,密封相當重要。Hg燈亮光通過石英窗玻璃進入反射鏡,兩個樣品臺通過滑板上裝的石英玻璃進行密封,平時這個區域總有靜態氬存在,即使不分析樣品期間,所有的樣品激發的亮度和Hg燈亮度通過大石英窗進人光學室。由于貝爾德采用這種人射光路的結構,存在的最大問題是氬氣消耗量大。目前,國內光電直讀光譜儀生產廠家大部分采用所示的分光系統。

    在人射光路部分通過聚焦鏡和樣品臺隔離。分光系統全部在真空室內。樣品臺到聚焦鏡這段距離可以做得很密封。氬氣沖洗從這里進入,然后到達電極架的燃燒腔。由于樣品臺燃燒腔內存在一個反向氬氣壓力,靜態氬的消耗相當小。這種結構的分光系統采用基體元素例如Fe*R等進行狹縫掃描(光譜儀使用前的光學系統校準)。沒有Hg燈進行狹縫掃描。斯派克光電直讀光譜儀采用手動的方法微微改變人射狹縫的位置到達出射狹縫上譜線極大位置。德國斯派克光電直讀光譜儀采用直線電機控制入射狹縫系統,軟件自動掃描,這樣可以克服手動和機械結構帶來的調整誤差。


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